在移动的热玻璃表面沉积氧化锡基薄膜的方法

申    请    号：  200710013627.0 申   请   日：   2007.02.14 
名          称：   在移动的热玻璃表面沉积氧化锡基薄膜的方法  
公 开 (公告) 号：  CN101077824  公开(公告)日：   2007.11.28  
主  分  类  号：   C03C17/245(2006.01)I 分案原申请号：   
分    类    号：   C03C17/245(2006.01)I  
颁   证     日：    优   先   权：   
申请(专利权)人：   中国建材国际工程有限公司;蚌埠玻璃工业设计研究院  
地          址：  233010安徽省蚌埠市涂山路1032号 
发 明 (设计)人：  甘治平;马立云;金良茂;陈 凯;王友乐;周建民  国  际 申 请：   
国  际  公  布：   进入国家日期：   
专利 代理 机构：   安徽省蚌埠博源专利商标事务所  代   理   人：  杨晋弘 
  
  摘要　  
 本发明涉及一种在移动的热玻璃表面沉积氧化锡基薄膜的方法，其特征在于采用了下列设备及步骤：a.在移动的热玻璃板上方固定一组化学气相反应器，该化学气相反应器设有三个气体入口和三个气体出口，b.第一个气体入口通入氧化硅的气态前驱物与载气的混合气体，c.第二个气体入口通入氧化锡的气态前驱物与载气的混合气体，d.第三个气体入口通入氟或锑的气态前驱物、和载气的混合气体。本发明的优点在于通过在反应器的不同入口中通入不同的反应性气体物质，形成一种折射率梯度渐变的膜层结构，得到的具有低辐射功能且无光学干涉色的氧化锡基镀膜玻璃具有良好的化学稳定性，可以像普通玻璃那样进行各种冷加工和热加工，可广泛适用于节能建筑与智能建筑、冰柜、烤箱、光电器件等方面。